特性メリット
8/12インチウエハ接著剤塗布に対応。
ウエハの流れと作業の全過程で溫度を正確に管理し、自動的に校正し、Underfillプロセスのニーズを満たすと同時に、製品安全を確保します。
製品の流れ、作業過程の観察と問題點の追跡分析を容易にするために、全過程でビデオ監視を行います。
レベル100防塵(清浄度クラス100クリーンルーム、一部はクラス10)で、ウエハレベルパッケージ環境の要求に適合
ESD対策は國際IEC、ANSI規格に準拠。
システム構成
作業フロー